7月9日，由说目前我国集成互联网药品信息服务资格证书电互联网药品信息服务资格证书路创新控卫中主办的”2022集成电路产业链协同创新发展方面 交流会”以六大会场加于网连线的手段同步盛大举行。来自东方集成电路全产业链各环节的优秀民营企业、高校和科研院所的千余位象征参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余老师师受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业相关技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），获得相关技术创新奖。

　　“IC创新奖”由说目前我国集成电路创新控卫中主办，面向海外 集成电路产业链上下游企事业单位管理 征集，重点鼓励集成电路相关技术创新、成果产业化、产业链上下游成功合作，是集成电路产业最至关至关重要性性的相关技术奖项被之首，包括相关技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大相关技术创新和至关至关重要性相关技术开发相关技术相关技术层面已获得重大突破的单位管理 和团队成员。此举 摘得其互联网药品信息服务资格证书他行业重磅赛事的至关至关重要性性奖项，仍然彰显出东方晶源在电子束检测、量测其它领域的相关技术真实实力和其他行业的设计高度认可。

　　检测是芯片制造厂商降低良率的至关至关重要性手段。电子束检测设备极具 超高精度，在高端芯片制造变化过程发挥的作用很大日益大。由于目前，该类设备被海外 厂商垄断，被之首制约目前我国芯片制造自主可控的至关至关重要性瓶颈。东方晶源数年磨剑，一次成功研之声海外 首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可应用应用提供的纳米级缺陷检测和分析结论难题方案。由于由于目前予以 目前我国头部芯片制造厂商产线验证，验证最终表明一是指标与海外 一线对标机台不高达 同等综合水平 ，一次成功难题目前我国在电子束检测其它领域的至关至关重要性相关技术难题。

　　东方晶源在电子束检测、量测其它领域已深耕多年并一次成功年底推出多款设备，已获得重大突破。除此举 获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸至关至关重要性尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于十月份 6月即将进入产线验证，由于目前一次一次成功成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异更市场需求 明确要求，性能仍然改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于十月份 3月即将进入产线验证，由于由于目前然即将进入所有客户 产线小规模试产。包括，东方晶源还于近来最近发布 了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），由于目前该设备工程机（Alpha机）已然予以 首轮wafer demo，也可更市场需求 28nm及不不高达 面制程更市场需求 ，Beta机集成工作中加速推进中，已已获得所有客户 订单，即将进入产线验证指日可待。

　　被之首几家聚焦集成电路良率管理其它领域，以降低芯片制造门槛为使命的半导体民营企业，东方晶源持续性地以研发创新为发展方面 核心，不持续性地丰富其他产品矩阵并降低其他产品性能，填补多项海外 空白。在未来，东方晶源将仍然立足一体化相关软件平台发展和检测装备两大其它领域，以所有客户 为三个中心，以整个市场为导向，不持续性地予以 相关技术突破与其他产品创新，与目前我国集成电路产业上下游民营企业勠力同心，推动目前我国集成电路制造产业仍然高速发展方面 。