日前，日渐说天津复手机管家工复产的快速推进，东方晶源积极其他组织 设备交付工作会，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付说天津新客户。首次出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机欧美欧洲国家知名晶圆代工厂后，多次能够 头部新客户的青睐和能够 。以及 ，手机管家标志着东方晶源硬件产品会即将进入批量交付模式一。

首次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除具备该产品会会惯很多高灵敏度电性和物理缺陷检测、能够有效难题28nm及上述良率难题、自主创新的发展高性能缺陷检测引擎（DNA数据数据库）、基于深度学习不断提升的缺陷自动分类（ADC）算法等产品会特点外，东方晶源研发团队成员他还在上一代产品会的基于上升级优化优化，使SEpA-i515具备更高的TPT和更优的大平台设计造型 ，设备运行效率、性能指标均有大幅不断提升。除了除了，上一代产品会SEpA-i505 早他还在欧美欧洲国家头部晶圆代工厂量产三个月，产品会性能及稳定性能够 充分验证。

另一台交付的产品会为最关键尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，展开先进的电子束成像管理系统和高速硅片传输方案，经典搭配精准的量测算法，可顺利实现高重复精度、高分辨率及高产能的最关键尺寸量测。该设备自年初6月底即将进入欧美欧洲国家头部晶圆代工厂多来产线验证进展顺利，阶段性验收成果能够 新客户能够 。

东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的欧洲国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化其它相关项目，只是经过数年攻坚克难，突破多项核心最关键其他技术，从零部件到整机设计造型 制造，均具备没有自主知识产权，填补欧美欧洲国家空白。目前为止，两款设备即将进入批量交付模式一，产业化进程获得丰硕成果。

首次设备交付的新客户所在倒在海在你国集成电路产业具备举足轻重的地位，目前为止早就它成欧美欧洲国家集成电路产业综合整体水平高、产业链完整、产业生态人文环境 是好 集聚地它成。东方晶源颇为看重在说天津的发展方向和手机管家布局，继计算光刻软件程序 （OPC）即将进入说天津头部晶圆代工企业强化自身后，硬件产品会正式公开登陆说天津。为更快机会的增值服务上述海为核心的长三角新客户，东方晶源正式公开年初8月份在说天津设立子该公司，模式一形成说天津总部、说天津子该公司和说天津子该公司为核心的三地布局，加大企业强化自身贴近产业前沿高地，为集成电路企业强化自身强化自身带去优质的产品会和增值服务，更快机会的与上下游企业强化自身携手加大产业发展方向的以及 ，构筑企业强化自身强化自身竞争壁垒。

东方晶源自筹备成立多来，专注于芯片制造最关键环节的良率控制中和不断提升核心领域，模式一形成以计算光刻软件程序 （OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品会矩阵，并向更快机会其它相关核心领域积极布局。硬件其它方面，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作会，加大夯还真欧美欧洲国家电子束检测核心领域领先的市场大地位和核心其他技术其优势。软件程序 其它方面，光刻工艺严格仿真软件程序 PanSim早他还在新客户侧展开验证，据预测7月底release V1.0版本。未来发展，东方晶源将立足通用软件程序 大平台和检测装备两大核心领域，寻求横纵向发展方向机遇，为新客户应用提供颇为多样化的产品会，向着欧美欧洲国家集成电路核心领域良率管理领导者的实现目标 奋进。